LED产业外延芯片制造行业的同行，对爱思强（AIXTRON）和维易科（VEECO）两家MOCVD设备制造商是“爱恨交织”。

爱思强和维易科生产的设备，在外延芯片制造过程中不可或缺。也因此，这两家分别来自德国、美国的供应商长期把持了MOCVD产业90%以上的份额。

另外，由于国内地方政府2009年起实行MOCVD设备采购的高额补贴，令补贴政策的真正受益者不仅是国内LED企业，更推动了爱思强和维易科收益的大涨。

近2年来，中国企业也不断在MOCVD设备制造领域中求突破。尽管未必会享受到地方政府“豪气”的补贴，但若打破“外来和尚”的垄断格局，在LED产业仍处于发展中的阶段，国内企业也将分享到产业“红利”。

“外来和尚”垄断

MOCVD是一种“金属有机化合物化学气相沉淀”技术，该技术设备报价在1500万元/套，占LED外延芯片生产成本的40%~50%。

2009年前，MOCVD产业都不算是一个体量很大的行业，它被用在蓝光、大功率材料切割、光纤通讯以及医疗等方面。

中晟光电设备（上海）有限公司（下称“中晟光电”）一位负责人说：“2009年前，LED产业和MOCVD市场很小，只有爱思强和维易科、一家日本公司提供MOCVD设备。2009年后，由于背光源的应用，LED产业实现了井喷式的发展，给这两家公司提供了发展契机。此外，新进入的MOCVD提供商，有的不能提供满足客户需求的设备和技术（如美国的应用材料公司），有的未能及时提供设备赶上市场的窗口，导致了爱思强和维易科‘霸主’的局面。”

截至2012年，维易科占该产业62%的市场份额，爱思强的市场占有率降低至28%，退至第二。

全球LED需求的增长，促使了这两家海外企业订单的上升。2010年、2011年，来自中国的买家大手笔采购，更使爱思强和维易科“数钱数到手软”。这背后，是中国地方政府的慷慨补贴。

光达光电设备科技（嘉兴）有限公司（下称“光达高科”）创始人兼CTO梁秉文，用自己掌上电脑中的图片来说明市场到底有多“疯狂”：2006年，全球MOCVD设备出货量不到100台，2007年为100多台；到了2010年，该数字达到了800多台，同比2009年增长277%。“但市场的正常需求大约是300到500台。”

也有数据显示，2010年800台的MOCVD设备出货量中，有60%（约480台）来自于中国的需求。而2011年，中国的MOCVD新增量约为483台，2012年则降到了200多台。

“我估计在2010年、2011年期间，来自中国地方政府对MOCVD设备的补贴额就在几十亿元左右。”梁秉文称。

2009年，江苏省扬州市率先出台政策，对不同的MOCVD设备，分别实行800万、1000万元的不同补贴标准。随后，厦门、佛山及芜湖等地也纷纷仿效。三安光电、德润豪达、国星光电等国内公司在政策“激励”下，大肆采购MOCVD设备。如三安光电和德润豪达的采购量就高达上百台之多。

彼时，欧美企业也意外地“躺着数钱”。爱思强2008年、2009年的收入为2.744亿欧元、3.029亿欧元，但2010年、2011年的收入分别达到7.8亿欧元和6.1亿欧元。它的EBIT(息税前利润)在2010年暴增到了2.75亿欧元，2009年仅为6270万欧元。

同样，维易科2010年的业绩创出历史最高纪录达9.33亿美元，利润为2.61亿美元。其中，该公司当年第四季度的收入为3亿美元，同比2009年的1.19亿美元大幅增长。

中国企业“抢攻”

尽管中国地方政府现有补贴幅度已经减缓，但LED的大发展仍势不可挡，MOCVD设备的研发、生产仍存在较好前景。目前，包括中晟光电、光达高科、广东昭信及上海理想能源等数家公司都在积极涉足。

梁秉文说，2013年1月，光达高科已通过了MOCVD设备的工艺能力验证，并与国内外公司达成了长期供货意向。前述中晟光电负责人也透露，今年3月中晟光电已上市了自主研发的首台MOCVD设备，同时也有了客户。

但中晟光电前述负责人对本报记者说：“MOCVD是LED产业链中的核心高端装备。它不仅涉及50多种学科和很多高端技术，而且LED外延工艺难度很高，外延薄膜质量、薄膜厚度和波长均匀性和重复性的严格要求，对MOCVD设备开发提出了巨大的挑战。MOCVD设备的研发投资额耗费巨大，若企业没有长期、持续的投入，很难在短期有立竿见影的经济效益。”

“在市场方面，两家海外企业现正大幅降价，亏本倾销，这会严重打击国内的竞争者。”中晟光电上述人士表示，爱思强和维易科过去3年获得了巨大的政策及利润优势，因此目前降价幅度高达40%~50%。

梁秉文则认为，两家海外公司低价处理设备的另一原因是，个别国内大公司虽在几年前下单订购MOCVD，但没有真正采购，造成了海外设备商有大量的库存，需要解决这些库存产品。

SEMI中国资深分析师兼LED项目经理戚发鑫也表示，国内几个新进入的企业，已经有因起步不顺以及市场竞争而退出的。厦门光电子行业协会秘书长马承伯也对记者说，国外的MOCVD厂商长期居于垄断地位，其用户从维护成本角度考虑，可能不会轻易转用国内的产品。

梁秉文说：“现在还不清楚国内政府的补贴是否也会倾向于国产化的公司，如果能有针对MOCVD国产化的适度补贴政策，那么国内企业也有望尽快获得一部分的MOCVD市场份额。”

一些国内企业也在试图寻找该产业中的“蓝海”战略。如光达高科会提供一整套的技术解决方案，大幅降低客户对工程师的依赖，让技术人员易上手。“国外企业除了供应设备，其余的服务如工程师、售后服务等价格是十分昂贵的。”而中晟光电的策略则是，研制不同尺寸的多套设备供客户选择；而且其称，外延芯片的生产成本也为“世界最低”，可大量降低气体和水电的消耗。2013年，中晟光电计划实现8000万元的销售，并在今年11月投产新厂房，届时望有4亿~5亿元的生产能力。